Диссертация

Автор: Шатунов, Валерий Владимирович

Название: Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур

Справка: Шатунов, Валерий Владимирович. Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур : диссертация кандидата химических наук : 02.00.08 / Шатунов Валерий Владимирович; [Место защиты: Гос. науч.-исслед. ин-т химии и технологии элементоорган. соединений] Москва, 2011 166 c. : 61 11-2/317

Объем: 166 стр.

Информация: Москва, 2011

Скачивание файла!

Для скачивания файла вам нужно ввести
E-Mail: 6616
Пароль: 6616
Скачать файл.